用于锂电池正、负极涂布,利用多台扫描架对极片进行同步跟踪测量
应用于光学膜涂布、太阳能晶圆、超薄玻璃、胶带、Mylar膜、OCA光学胶、光阻等测量
五台同步跟踪系统同步测量系统具备:湿膜测量、净涂覆量测量、极片微小特征测量等功能
测量水含量、涂布量、薄膜和热烙胶的厚度